快速固化烤箱SE0-600N采用模塊化設(shè)計(jì),集成自動化控溫,氮?dú)獗Wo(hù),緩沖冷卻,自動化上下料等多重功能。通過特定的溫度控制,氮?dú)饪刂疲詣踊僮鳎瓿少N合設(shè)備后段的工藝制程,主要用于半導(dǎo)封裝過程中的固化與粘接工藝。
半導(dǎo)體充氮烤箱通用性強(qiáng),具有高穩(wěn)定性和高性能,采用高容量水平空氣再循環(huán)系統(tǒng),采用專有的腔室結(jié)構(gòu)和密封技術(shù),具有出色的氣密性和溫度均勻性,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)品高性能要求。此烤箱適用于固化半導(dǎo)體晶圓、IC封裝(銅基板,銀膠,硅膠,環(huán)氧樹脂)、玻璃基板等產(chǎn)品烘烤。